空氣潔凈度等級的標準有哪些？

空氣潔凈度等級(N)

大于或等于所標粒徑的粒子zui大濃度限值（空氣粒子數個/立方米）

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

1.0um

5.0um

ISO Class1

10

2

ISO Class2

100

24

10

4

ISO Class3

1,000

237

102

35

8

ISO Class4

10,000

2,370

1,020

352

83

ISO Class5

100,000

23,700

10,200

3,520

832

29

ISO Class6

1,000,000

237,000

102,000

35,200

8,320

293

ISO Class7

352,000

83,200

2,930

ISO Class8

3,520,000

832,000

29,300

ISO Class9

35,200,000

8,320,000

293,000

注：由于涉及測量過程的不確定性，故要求用不超過三個有效的濃度數字來確定等級水平

空氣潔凈度等級(N)

大于或等于表中粒徑的zui大濃度限值(pc/m3)

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

1um

5um

1

10

2

2

100

24

10

4

3

1000

237

102

35

8

4（十級）

10000

2370

1020

352

83

5（百級）

100000

23700

10200

3520

832

29

6（千級）

1000000

237000

102000

35200

8320

293

7（萬級）

352000

83200

2930

8（十萬級）

3520000

832000

29300

9（一百萬級）

35200000

8320000

293000

潔凈度級別

懸浮粒子數zui大允許數/m3

近似對應傳統潔凈度

靜態

動態

0.5um

0.5um

0.5um

0.5um

A級

3520

20

3520

20

100級

B級

3520

29

352000

2900

100級

C級

352000

2900

3520000

29000

10,000級

D級

3520000

29000

不作規定

不作規定

100,000級

個 / M ≥0.5um

ISO14644-1(1999)

US209E(1992)

US209D(1988)

EECcGMP(1989)

FRANCE

AFNOR(1981)

GERMANY

VDI 2083

JAPAN

JAOA(1989)

1

-

-

-

-

-

-

-

3.5

2

-

-

-

-

0

2

10.0

-

M1

-

-

-

-

-

35.3

3

M1.5

1

-

-

1

3

100

-

M2

-

-

-

-

-

353

4

M2.5

10

-

-

2

4

1,000

-

M3

-

-

-

-

-

3,530

5

M3.5

100

A+B

4,000

3

5

10,000

-

M4

-

-

-

-

-

35,300

6

M4.5

1,000

1,000

-

4

6

100,000

-

M5

-

-

-

-

-

353,000

7

M5.5

10,000

C

400,000

5

7

1,000,000

-

M6

-

-

-

-

-

3,530,000

8

M6.5

100,000

D

4,000,000

6

8

10,000,000

-

M7

-

-

-

-

-